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機(jī)器人無塵室

實(shí)現(xiàn)高速的更大吞吐量

隨著醫(yī)療和消費(fèi)類電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,對無塵室自動(dòng)化解決方案的需求在迅速地增加。控制消費(fèi)類設(shè)備的微型芯片都是從一個(gè)精細(xì)的硅片上切割下來的,而該硅片是由專門設(shè)計(jì)的機(jī)器人在一個(gè)無塵室環(huán)境中進(jìn)行處理的。在某些醫(yī)療和制藥應(yīng)用中使用的機(jī)器人需要在符合無塵室標(biāo)準(zhǔn)的同時(shí),實(shí)現(xiàn)極快的速度和可重復(fù)性。川崎提供的技術(shù)可以解決如今在無塵室應(yīng)用方面的挑戰(zhàn)。

川崎提供的各種機(jī)器人和設(shè)備適用于ISO 1級、2級和5級無塵室的分類。這些無塵室機(jī)器人擁有引以為傲的業(yè)界領(lǐng)先的速度、可重復(fù)性和可靠性,而這些在以需求量增加為重點(diǎn)的行業(yè)內(nèi)是關(guān)鍵的因素。為無塵室應(yīng)用研制出的機(jī)器人手臂的設(shè)計(jì)考慮到了易用性,包括通臂電纜和管路技術(shù)、接口連接外圍設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn),以及針對半導(dǎo)體系列的全自動(dòng)晶圓處理的教學(xué)方案。

川崎擁有高速、準(zhǔn)確和可靠的技術(shù),可以幫助您達(dá)到您對無塵室自動(dòng)化的目標(biāo)。


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